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Film sottili

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Film sottili
Research &
development
LUCE DALL’ENEA: IERI, OGGI E DOMANI
Film sottili per manipolare raggi di luce
La manipolazione dei raggi di luce avviene frequentemente facendo interagire tali raggi con la superficie
di un materiale, come per un tipico specchio, o facendoli passare attraverso varie superfici costituite da strati
di materiali diversi. Questi strati sono denominati film sottili in quanto il loro spessore è in genere comparabile
con la lunghezza d’onda della luce. La luce può essere riflessa, trasmessa, assorbita nel modo voluto: si può
eliminare la luce riflessa o rifletterla totalmente, si possono dividere o combinare raggi di luce di diverse lunghezze
d’onda o con diverse direzioni e molto altro. Per ottenere il risultato desiderato bisognerà scegliere opportunamente
il numero di strati e i materiali che li costituiscono. I fenomeni alla base di questa manipolazione della luce sono
essenzialmente fenomeni di interferenza ed esistono specifici programmi di calcolo che consentono di progettare
dispositivi ottici in grado di riflettere e trasmettere la luce in diverse zone dello spettro elettromagnetico.
Le applicazioni sono molteplici sia per l’uso nella vita quotidiana sia per scopi più strettamente scientifici, come
verrà descritto in questo articolo
DOI 10.12910/EAI2015-095
n A. Piegari, A. Sytchkova
Introduzione
La tecnologia dei film sottili consente di modificare il
comportamento mostrato da un materiale o da un dispositivo, a seguito dell’arrivo sulla sua superficie di
un raggio di luce. In pratica si tratta di ricoprire il materiale di partenza con strati molto sottili (tipicamente
con spessori minori del micron) costituiti da uno o più
materiali aventi proprietà diverse. Questa tecnica trova
applicazione in molti settori: meccanica, elettronica, ottica, ma le applicazioni in ottica hanno costituito il punto
di partenza per lo sviluppo industriale dei film sottili e
hanno determinato in gran parte il progresso tecnico
nel settore.
Nel seguito ci si limiterà al campo dell’ottica, all’interno
del quale ci sono comunque diverse aree di applicazione. Il fattore comune è la manipolazione della luce in-
Contact person: Angela Piegari
[email protected]
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cidente, dove il termine luce sarà esteso per comodità
anche alla radiazione non visibile, in particolare ultravioletta e infrarossa.
A seconda dell’applicazione, lo spessore dei film sottili assume una diversa importanza, ma tipicamente tale
spessore è un parametro fondamentale in ottica perché
determina il cammino ottico dei raggi quando questi
attraversano i vari strati, e influisce fortemente sul risultato finale essendo questo basato in gran parte su fenomeni di interferenza. Brevi accenni di teoria saranno
riportati nel successivo paragrafo.
L’applicazione dei film sottili in ottica è nota da moltissimi anni, le trattazioni teoriche risalgono all’Ottocento
e il primo riferimento a un rivestimento (coating) antiriflettente risale probabilmente a Fraunhofer alla fine
dell’Ottocento.
La trattazione teorica si è andata perfezionando tra la
fine dell’Ottocento e l’inizio del Novecento (Fresnel,
Poisson, Rayleigh, Abelès ecc.) e contemporaneamente
sono state fatte varie realizzazioni pratiche sviluppando
tecniche di tipo fisico e chimico.
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Brevi nozioni teoriche
La manipolazione della luce viene in genere ottenuta
facendo passare la radiazione attraverso una serie di
superfici ottiche, in modo che sia riflessa, trasmessa, assorbita, fino a ottenere il risultato voluto, alle
lunghezze d’onda di interesse. La quantità di luce
trasmessa o riflessa dipende dalle proprietà ottiche
dei materiali e per modificarla si possono cambiare
le proprietà delle superfici suddette applicando dei
coatings ottici a film sottile.
I materiali in uso sono tipicamente dielettrici, metallici
o semiconduttori, dove questi ultimi vengono assimilati ai dielettrici per quanto riguarda il comportamento
nell’ottica dei film sottili. I materiali dielettrici trasmettono la luce con poche perdite e il comportamento dei
coatings dielettrici si basa essenzialmente su fenomeni di interferenza. I metalli riflettono la maggior parte
della luce che arriva su di essi e, se il film metallico è
molto sottile, una parte della luce lo attraversa ma viene fortemente attenuata. In qualche caso i film metallici
possono trasmettere la luce in modo significativo a una
particolare lunghezza d’onda e vengono usati nei rivestimenti interferenziali, come sarà mostrato in un esempio nel paragrafo “Alcune applicazioni”.
I materiali a film sottile sono caratterizzati dall’indice
di rifrazione n e dal coefficiente di estinzione k, che
formano l’indice di rifrazione complesso (n-ik). Il coefficiente di estinzione è molto piccolo nei dielettrici
mentre assume un valore significativo nei metalli e ad
esso è legato il coefficiente di assorbimento α = 4πk/λ,
dove λ è la lunghezza d’onda.
Un altro parametro importante è lo spessore ottico, dato
dal prodotto dell’indice di
rifrazione n moltiplicato
per lo spessore geometrico del film d. Infatti i fenomeni di interferenza che si
ottengono quando il valore
del prodotto nd è comparabile con la lunghezza d’onda della luce incidente λ,
sono regolati dai cammini
ottici dei raggi che vengono riflessi e trasmessi a
ogni interfaccia. In Figura
1 sono rappresentate due
interfacce parallele che
corrispondono alle due
FIGURA 1 Raggi riflessi
superfici di un film sottile,
e trasmessi da
con le riflessioni multiple
un coating a film
dei raggi.
sottile sul quale
L’interferenza sarà di tipo
arriva un raggio
con intensità Io,
costruttivo o distruttivo a
la luce riflessa e
seconda dell’ampiezza e
trasmessa avrà
della fase di questi raggi.
rispettivamente
Il risultato viene calcolato
intensità IR e IT
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Research & development
La vera crescita a livello industriale si ebbe però negli
anni Quaranta in corrispondenza della Seconda Guerra
Mondiale. Infatti, in quel periodo, ci fu un grande sviluppo di strumenti ottici (binocoli, telescopi ecc.) le
cui prestazioni miglioravano notevolmente con l’uso di
coatings antiriflettenti che consentivano di aumentare la
trasmissione della luce.
Le applicazioni dei film sottili per ridurre la luce riflessa furono inizialmente quelle di maggior successo, ma
si cominciarono anche a produrre specchi e filtri ottici
basati sugli stessi principi di funzionamento.
Dopo la Guerra, la crescita del settore continuò velocemente, sia sviluppando nuovi coatings ottici sia ottimizzando le tecniche di fabbricazione e, in breve, una
gran parte dei componenti ottici fu dotata di un coating
a film sottile per migliorarne le caratteristiche di interazione con la luce, non solo nello spettro visibile ma
anche nell’infrarosso.
Questo sviluppo fu trainato da alcuni settori applicativi quali la spettroscopia, l’astronomia, i laser e si rese
necessario produrre specchi, ottiche polarizzanti, filtri
passabanda, che furono realizzati mediante coatings
multistrato sia metallici sia dielettrici.
Alcuni esempi in campi di applicazione molto diversi
saranno descritti nel paragrafo “Alcune applicazioni”, e
le tecniche di deposizione di tipo fisico in uso saranno
descritte nel paragrafo “Tecniche di fabbricazione”. Alle
applicazioni iniziali se ne sono aggiunte molte altre nel
tempo e i nuovi sviluppi riguardano sia i materiali sia la
struttura dei rivestimenti a film sottile, come sarà illustrato nel paragrafo “Nuovi materiali e recenti sviluppi”.
Suggerimenti di letture per ulteriori approfondimenti
sono riportati nella bibliografia [1-5].
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via computer utilizzando appositi software, la teoria si
basa sulle equazioni di Maxwell e nel caso dell’interazione della luce con una struttura a film sottili ci sono
dei metodi di calcolo appositi, che sono utilizzati da tali
software.
I campi elettrici e magnetici sono calcolati attraverso
una matrice di trasferimento caratteristica del coating
a film sottili in esame, e alla fine si ottengono i valori di
trasmissione e riflessione in funzione della lunghezza
d’onda.
Il calcolo consente di ottenere tali valori anche in funzione dell’angolo di incidenza o dello spessore degli
strati ed è inoltre possibile studiare l’effetto di variazioni dell’indice di rifrazione di uno o di vari strati sulla
risposta spettrale del coating ottico.
Nel caso di particolari strutture non complesse, si possono usare semplici formule per prevedere il comportamento del coating.
Un esempio tipico è uno strato antiriflettente che, quando viene depositato su un materiale massivo (substrato) con indice di rifrazione ns, ne annulla la riflessione
alla lunghezza d’onda λ se il suo indice di rifrazione è
nfilm = √ns e il suo spessore ottico nfilmd = λ/4 (che si
indica come spessore quarter-wave). Infatti nel caso di
un film con spessore quarter-wave, la formula che dà il
valore della riflessione R a quella lunghezza d’onda è:
(1)
dove l’indice di rifrazione dell’aria viene considerato
uguale a 1.
Se invece si deposita un film che è quarter-wave a una
certa lunghezza d’onda λ e ha indice di rifrazione più
alto di quello del substrato, ad esempio nfilm = 2,5 (e
assorbimento nullo), su un vetro con ns = 1,5, si avrà un
valore di riflessione alto R = 38% a quella lunghezza
d’onda di riferimento, che è il massimo ottenibile con
tale film. Alle altre lunghezze d’onda si avrà una riflessione con un andamento oscillante tra un minimo e un
massimo. Il minimo sarà uguale alla riflessione del substrato Rs=[(1-ns)/(1+ns)]2 e ciò avviene alla lunghezza
d’onda in cui lo spessore ottico del film è nfilmd = λ/2
(spessore half-wave). Se invece si vuole uno specchio, è
sufficiente depositare uno strato metallico che, se non
è così sottile da lasciar passare la luce, si comporterà
come un materiale massivo e la riflessione sarà:
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(2)
dove n-ik è l’indice di rifrazione complesso del metallo.
In tal caso la riflessione non sarà determinata dall’interferenza ma dalle proprietà del materiale. Il coefficiente
di estinzione nei metalli è in genere alto e ha un ruolo
determinante.
Sono comunque pochi i casi in cui si possono ottenere
prestazioni utili con un singolo strato e inoltre lo spessore degli strati non è sempre quarter-wave o half-wave, che sono le situazioni più semplici. Come si vede
dalla formula (1), per ottenere un antiriflettente con un
solo strato bisognerebbe avere un materiale con indice di rifrazione pari alla radice quadrata dell’indice del substrato, ma in natura è difficile trovarlo. Sono
quindi necessari due strati per avere un antiriflettente
a una singola lunghezza d’onda o più di due, se si vuole che funzioni su una larga banda, come ad esempio
in tutto lo spettro visibile. Se si vuole realizzare uno
specchio non metallico ma costituito da materiali dielettrici, sono tipicamente necessari oltre venti strati
e le lunghezze d’onda a cui riflette sono limitate. In
generale per ottenere le prestazioni volute, ad esempio per filtrare la luce a diverse lunghezze d’onda, si
utilizzano vari strati, anche più di cento se necessario,
di materiali diversi benché per motivi correlati alla
fabbricazione si cerchi sempre di ridurre al minimo
il numero di strati e di usare soltanto due o tre materiali, alternando film a indice di rifrazione alto e film a
indice basso.
La luce che non viene riflessa, viene trasmessa se non
c’è assorbimento. In generale la somma della luce riflessa R, trasmessa T, assorbita A e diffusa S è uguale
all’unità:
R+T+A+S=1
(3)
Spesso la luce assorbita o diffusa viene considerata una
perdita e, in alcuni casi, può portare anche al deterioramento del componente ottico, quindi si cerca di minimizzare queste quantità.
Il progetto di un coating ottico che in funzione della lunghezza d’onda abbia diversi comportamenti, ad esempio rifletta la radiazione ad alcune lunghezze d’onda e
la trasmetta ad altre, si fa tipicamente via computer an-
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Alcune applicazioni
Le applicazioni dei film sottili per manipolare la luce
sono molte ed esempi del loro uso si trovano sia nella
vita quotidiana sia in settori più tecnici, benché la distinzione non sia netta. Esempi del primo tipo sono gli
occhiali antiriflettenti, le vetrate per edilizia, i filtri per
l’illuminazione, gli schermi dei cellulari, i dispositivi anticontraffazione ecc. Nel secondo caso, tra i tanti esempi
possibili, verranno descritte tre applicazioni che sono
state studiate nei laboratori del Centro Ricerche ENEA
Casaccia e che al momento della realizzazione non erano disponibili commercialmente.
Sorgenti laser
Come già accennato, lo sviluppo delle sorgenti laser ha dato un grande impulso alla realizzazione di
ottiche a film sottile soprattutto per quanto riguarda gli specchi della cavità laser. Inizialmente questi
specchi erano di tipo metallico per avere una elevata
riflessione, nei laser però l’elevata riflessione è necessaria in genere a una sola lunghezza d’onda, e gli
specchi dielettrici sono preferibili perché hanno minori perdite. In effetti nei laser di elevata potenza la
luce assorbita dallo specchio può causare la sua di-
struzione. Gli specchi per laser sono comunque commercialmente disponibili anche con soglie di danneggiamento elevate, e tipicamente hanno un valore
di riflessione uniforme sulla loro superficie.
Lo sviluppo effettuato nei laboratori della Casaccia
negli scorsi anni ha riguardato particolari coatings
ottici da usare come specchi di uscita di risonatori
laser instabili, con lo scopo di migliorare la qualità
del fascio di uscita. Questi specchi devono avere una
riflessione non uniforme sulla loro superficie raggiungendo un valore massimo al centro che diminuisce gradualmente verso il bordo, con una simmetria
circolare.
Per ottenere questo risultato il coating è formato da
vari strati alternati di due materiali con spessore
quarter-wave alla lunghezza d’onda del laser, tranne lo
strato centrale che ha uno spessore non uniforme lungo il raggio dello specchio, come mostrato in Figura
2a. La variazione radiale di tale spessore viene calcolata in modo da ottenere una variazione radiale della
riflessione che deve seguire un’equazione predefinita
(gaussiana o altre).
L’effetto visivo di tale variazione, con simmetria circolare, si può notare nella parte centrale delle fotografie di
due specchi a riflessione variabile, riportate in Figura
2b e 2c.
(a)
(b)
(c)
FIGURA 2 a) Sezione di un coating su un substrato di quarzo,
con strati alternati di due materiali e con lo strato
centrale radialmente variabile; b) e c) fotografie
di due specchi supergaussiani per laser
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che se l’esperienza è di grande aiuto per trovare la soluzione migliore. La soluzione non è in genere unica, ma
ci sono varie strutture a film sottile che possono dare un
risultato soddisfacente utilizzando diversi materiali e
un diverso numero di strati. La scelta dipende anche da
fattori che riguardano la realizzazione successiva del
componente ottico e il suo utilizzo.
Ad esempio in alcuni casi i materiali metallici non sono
adatti, sia per il loro assorbimento sia per la scarsa resistenza a specifiche condizioni d’uso.
La prima fase per la realizzazione di un coating ottico
è quella del progetto a seguito di dettagliate richieste,
poi segue la fabbricazione e infine i test di funzionamento. Le tre fasi sono comunque correlate in quanto
in tal modo si può effettuare più correttamente la scelta
dei materiali da utilizzare, in base alle loro proprietà reali che spesso dipendono dalla tecnica di fabbricazione (deposizione) e risultano diverse da quelle disponibili in letteratura.
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(a)
(b)
(c)
FIGURA 3 a) disegno di un filtro variabile accoppiato a un rivelatore CCD; b) fotografia di un filtro linearmente variabile realizzato
in laboratorio; c) curva spettrale di un filtro di trasmissione a banda stretta corrispondente a una singola posizione
sulla superficie del filtro variabile
Questi specchi sono stati realizzati mediante sputtering a radiofrequenza, una tecnica descritta nel seguito, usando apposite maschere introdotte nella camera
da vuoto per ottenere lo strato con spessore variabile.
Gli specchi sono stati fabbricati per varie lunghezze
d’onda dall’ultravioletto all’infrarosso, corrispondenti
a diverse sorgenti laser (XeCl, Nd:YAG, CO2), con dimensioni del raggio da qualche millimetro ad alcuni
centimetri, e utilizzando materiali diversi per ciascuna
applicazione.
La misura delle prestazioni degli specchi è stata fatta
utilizzando un fascio laser focalizzato (alla lunghezza
d’onda di interesse) e muovendo il campione lungo il
suo raggio per ottenere una misura radiale di riflessione. Inoltre è stata misurata la soglia di danneggiamento
laser ed è stata anche analizzata la distribuzione radiale
della fase.
Strumenti per lo spazio
L’applicazione dei rivestimenti a film sottili per le ottiche che si trovano all’interno di strumentazione per
lo spazio, oltre alle prestazioni ottiche deve prevedere l’uso di questi componenti in particolari condizioni
ambientali. Infatti nello spazio bisogna tener conto di
escursioni termiche notevoli e dell’irraggiamento di
protoni, elettroni, neutroni, oltre all’effetto della radiazione solare.
Una caratteristica comune a tutte le missioni spaziali
è la riduzione del peso e delle dimensioni degli strumenti. Il tipo di coating qui descritto è stato sviluppato per uno strumento miniaturizzato da usare per le
osservazioni della Terra dallo Spazio e in particolare
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per la spettrometria d’immagine. A tale scopo è stato realizzato un filtro ottico di piccole dimensioni che,
combinato con un rivelatore CCD (Figura 3a), potesse
consentire la fabbricazione di un particolare sensore
ottico da utilizzare come elemento principale di uno
spettrometro. In tal modo si possono evitare le ottiche
tradizionali (prismi, reticoli ecc.) e parti in movimento, e quindi ridurre peso e dimensioni dello strumento. Anche in questo caso, il coating ha caratteristiche
variabili sulla superficie, in particolare si tratta di un
filtro in trasmissione a banda stretta, il cui picco di trasmissione si sposta in modo lineare a diverse lunghezze d’onda, lungo una direzione sulla superficie del
filtro stesso (nella direzione perpendicolare il filtro è
uniforme).
Questa variazione appare visivamente come mostrato
nel disegno di Figura 3a e nella fotografia di un filtro
reale in Figura 3b. Nel grafico di Figura 3c è riportata
la curva di trasmissione di un filtro metallo-dielettrico
a 21 strati, con il picco di trasmissione centrato a una
lunghezza d’onda specifica (560 nm). La lunghezza
d’onda di picco viene fatta variare linearmente lungo
la superficie del filtro stesso, nell’intervallo 440-950
nm, mediante la variazione dello spessore del coating.
I materiali utilizzati sono ossido di silicio, ossido di tantalio e argento, e si è sfruttato un fenomeno detto di
trasmissione indotta, in base al quale si riesce ad ottenere una elevata trasmissione dello strato metallico a
una lunghezza d’onda definita, mediante un matching
ottico opportuno del suo indice di rifrazione con il
mezzo circostante.
Per la fabbricazione di questi componenti è stata usa-
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Opere d’arte
Un settore di largo interesse è quello dei beni culturali, anche in questo caso la tecnologia dei film sottili
è utile per alcune applicazioni che riguardano la luce.
L’esempio di seguito riportato ha come scopo sia la
protezione sia la fruizione delle opere d’arte. È noto
che le opere d’arte, in particolare i dipinti, possono
subire deterioramenti dovuti all’illuminazione sia naturale sia artificiale. Lo scolorimento e l’ingiallimento
della carta esposta alla luce del sole sono facilmente
osservabili. Lo scopo del coating da depositare sui
vetri di protezione anti-vandalismo, posti davanti ai
dipinti, è quello di eliminare dalla luce che illumina
il quadro tutte le lunghezze d’onda non utili per la
visione, cioè tutte quelle minori di 410 nm e maggiori
di 680 nm.
Il taglio della radiazione ultravioletta viene spesso ottenuto mediante un foglio di plastica inserito tra due
vetri, ma in questo modo si taglia soltanto la radiazione
con lunghezza d’onda al di sotto di 380 nm e non si riduce la radiazione infrarossa.
La caratteristica addizionale del coating qui descritto è quella di ridurre le riflessioni della luce dovute
al vetro che disturbano l’osservazione, soprattutto
quando i colori del dipinto sono scuri. La funzione
antiriflettente nello spettro visibile è anche utilizzata per gli occhiali o le vetrine ma con caratteristiche
diverse. Nel caso delle opere d’arte bisogna combinare nello stesso coating varie funzioni: taglio di
ultravioletto e infrarosso, antiriflettente nel visibile
e non alterazione dei colori ad angoli di osservazione obliqui. È noto infatti che i coatings interferenziali
cambiano la loro risposta in funzione dell’angolo di
incidenza perché cambiano i cammini ottici dei raggi
che attraversano i vari strati.
Esistono sul mercato coating dielettrici che tagliano
ultravioletto e infrarosso e sono antiriflettenti nel visibile, ma sono dedicati ad altre applicazioni e cambia-
Research & development
ta la tecnica dello sputtering a radiofrequenza e, per
ottenere la variazione spaziale dello spessore degli
strati, è stato inserito all’interno della camera da vuoto un sistema di maschere mobili. Questa operazione
risulta piuttosto complessa tenendo conto che i filtri
hanno una dimensione di pochi millimetri nella direzione della variazione. Di solito i film sottili per ottica
devono avere uno spessore uniforme su tutta la loro
dimensione e gli impianti di produzione sono ottimizzati a questo scopo. Per applicazioni spaziali sono stati
realizzati anche filtri ottici il cui problema principale
era proprio ottenere una elevata uniformità su larghe
superfici, ma non verranno descritti qui.
Per le applicazioni dedicate allo spazio sono stati eseguiti test a temperature criogeniche e con irraggiamento di particelle per osservare eventuali deterioramenti
nelle loro prestazioni, e si è notato che alcune variazioni
delle caratteristiche spettrali possono avvenire nell’ultravioletto a seconda dei materiali usati.
y
x
(a)
(b)
(c)
FIGURA 4 Riflessione R e trasmissione T spettrale del coating a otto strati; b) fotografia di un coating antiriflettente su vetro (area circolare
centrale); c) diagramma CIExyz dove le crocette indicano le coordinate tricromatiche in riflessione e trasmissione a 35 gradi
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no notevolmente colore con l’angolo di osservazione.
Inoltre contengono più di cinquanta strati e quindi la
realizzazione su larghe superfici risulta complessa. Lo
scopo del coating proposto era quindi quello di ottenere tutte le funzioni richieste simultaneamente, con
pochi strati.
La soluzione trovata comprende soltanto otto strati, e utilizza come materiali ossido di titanio, ossido di silicio e
ossido di indio e stagno (ITO) che fa parte di una classe
di materiali conduttori e trasparenti (TCO) e contribuisce a bloccare la radiazione infrarossa. Questo coating
(brevetto ENEA) ha le caratteristiche spettrali riportate
in Figura 4a con un taglio dell’ultravioletto e una riduzione dell’infrarosso e inoltre una funzione di antiriflettente nel visibile (Figura 4b) in grado di preservare la
resa cromatica a un’osservazione obliqua, come si vede
dal diagramma CIE (Commission Internationale de l’Eclairage) riportato in Figura 4c.
Il prototipo è stato realizzato mediante evaporazione con fascio elettronico, una tecnica che si presta a
fabbricazioni su grandi superfici. Il numero di strati
ridotto rende questo coating di facile realizzazione a livello commerciale e utile per la protezione
e la fruizione delle opere d’arte in musei, gallerie,
esposizioni.
Tecniche di fabbricazione
Ci sono molti processi per la fabbricazione dei film sottili ma non tutti consentono un controllo dello spessore
con l’accuratezza richiesta per le applicazioni ottiche.
Per queste ultime si utilizzano in genere processi in
vuoto, fisici o chimici, dove i film si formano da un materiale che condensa dalla fase vapore. I processi in vuoto comprendono la deposizione fisica da fase vapore
(PVD) e la deposizione chimica da fase vapore (CVD).
La differenza principale sta nel materiale di partenza
e nel modo in cui viene creato il vapore. Nelle tecniche PVD il materiale che si vuole depositare è un solido
(target), come ad esempio un ossido in polvere, sinterizzato o in granuli, che viene poi depositato sul substrato con diversi metodi. Nelle tecniche CVD si adoperano gas precursori e una reazione chimica avviene
nella camera di deposizione prima che il materiale si
condensi sul substrato.
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Le tecniche PVD più consolidate e ampiamente usate
sono lo sputtering e l’evaporazione termica. I coatings
ottici nei laboratori della Casaccia sono prodotti con
queste due tecniche; nelle Figure 5 e 6 sono mostrate le
fotografie di un impianto di sputtering a radiofrequenza
e di un impianto di evaporazione mediante fascio elettronico, con lo schema di funzionamento.
Lo sputtering è un processo energetico in cui il vapore
viene prodotto mediante un “bombardamento” del materiale di partenza (target) con gli ioni accelerati di un
gas con alto peso atomico, come ad esempio l’argon,
che collidono con il target ed estraggono molecole in
fase vapore.
L’eccitazione del gas di lavoro si ottiene mediante diversi tipi di sorgenti elettromagnetiche, come la generazione di un campo in continua (DC) o a radiofrequenza (RF) con il target operante come uno degli elettrodi,
oppure tramite l’impiego di sorgenti particolari di ioni
che vengono inviati direttamente verso il target (ionbeam sputtering). In alcuni casi si utilizza una seconda sorgente di ioni per bombardare il film durante la
sua crescita (dual ion-beam sputtering), effettuando la
cosiddetta assistenza ionica con lo scopo di migliorare
le proprietà del film. Questo processo è in uso presso i
laboratori della Casaccia assieme allo sputtering a radiofrequenza.
L’evaporazione è un processo diverso in cui le polveri
del materiale di partenza vengono fatte evaporare mediante riscaldamento termico del materiale desiderato,
posizionato in un crogiolo, oppure concentrando un fascio elettronico, generato da un cannone elettronico, sul
materiale nel crogiolo.
Nel primo caso si parla di evaporazione termica, mentre il secondo tipo è noto come evaporazione a fascio di
elettroni. Nei laboratori della Casaccia sono disponibili entrambi i sistemi. Il materiale evaporato può subire
una parziale dissociazione e il film può risultare carente
di qualche componente.
In questi casi si usa aggiungere un altro gas nella camera da vuoto e si parla di processi reattivi. Ciò è tipico
per migliorare ad esempio la stechiometria dei film di
ossidi, compensando in tal modo la mancanza di ossigeno. Inoltre in alcuni casi si usa il bombardamento ionico del film durante la crescita, per aumentare la densità del materiale del film che potrebbe presentare dei
vuoti nella sua struttura.
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FIGURA 5 Impianto di sputtering a radio frequenza
FIGURA 6 Impianto di evaporazione a fascio elettronico
Ogni tecnica di deposizione ha le proprie caratteristiche che possono costituire vantaggi o svantaggi a seconda dell’applicazione. Ad esempio, la
velocità di deposizione relativamente alta, tipica
dei processi di evaporazione, è una caratteristica
positiva quando si tratta di un coating con alto numero di strati di spessori di centinaia di nanometri,
come per le applicazioni nel visibile o infrarosso.
In tal caso può essere tollerata una probabile imprecisione di qualche nanometro nello spessore
degli strati, dovuta a un minore controllo del processo proprio a seguito della sua alta velocità. Se
invece bisogna produrre un dispositivo con strati
aventi spessore di qualche nanometro, come per
le applicazioni nell’estremo ultravioletto, la scelta
del processo di produzione sarà prevalentemente
orientata verso lo sputtering.
Tanti altri parametri influiscono sul processo di deposizione e quindi sulle caratteristiche finali dei
singoli film e dei coatings risultanti. Nei laboratori della Casaccia tutti gli impianti di deposizione
sono stati modificati adattandoli al tipo di dispositivo oggetto di studio e nella maggior parte di essi
è stato inserito un controllo online delle caratteristiche ottiche del coating durante il processo di
fabbricazione.
presso i laboratori del Centro Ricerche ENEA Casaccia
e schema di funzionamento
con assistenza ionica presso i laboratori della Casaccia
e schema di funzionamento
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Nuovi materiali e recenti sviluppi
Come si può immaginare, più è ampia la gamma di possibili scelte dei materiali per i coatings ottici, più flessibile è il design, e maggiori proprietà di interesse si
potranno ottenere dal coating stesso. Si può guadagnare sia in termini della risposta ottica sia in termini della
combinazione delle proprietà ottiche con quelle morfologiche, elettriche, tribologiche e così via.
I materiali tradizionalmente utilizzati per i rivestimenti ottici sono quelli naturali inorganici e cioè gli ossidi
dei metalli e semiconduttori, i nitruri, alcuni fluoruri, i
metalli. Le loro specifiche costanti ottiche (costante dielettrica e conducibilità elettrica) sono parametri regolabili con la variazione delle condizioni di deposizione.
Così l’opportuna aggiunta di alcuni gas nella camera
da vuoto durante la deposizione o un trattamento postdeposizione può cambiare notevolmente le proprietà
del film. Ad esempio un modo per mantenere lo stato di
ossidazione di un ossido al valore desiderato consiste,
come già detto, nel regolare la quantità di ossigeno nella camera da vuoto durante il processo di deposizione.
Un altro esempio è il controllo di vacanze d’ossigeno
negli ossidi conduttori trasparenti (TCO): l’aggiunta di
una piccola percentuale d’idrogeno induce in un film
di AZO (ZnO:Al2O3) una migliore mobilità e concentrazione delle cariche libere rendendolo quindi un TCO
di migliore qualità. L’annealing dei TCO in condizioni
appropriate può migliorare ulteriormente le loro prestazioni, grazie al cambiamento della morfologia del
film e/o dello stato di ossidazione.
Il tuning del processo è quindi uno dei sistemi per
potenziare la scelta possibile dei materiali per i film
sottili dedicati ad applicazioni ottiche. La misura in
cui è possibile indurre una variazione delle costanti
ottiche dei materiali e delle loro proprietà meccaniche non può comunque superare il livello di qualche
percento, se si agisce solo sui parametri di deposizione e con un trattamento post-deposizione. La continua ricerca di perfezionamento delle prestazioni
dei dispositivi ottici spinge i ricercatori a individuare
modi per superare le limitazioni intrinseche dei coating tradizionali, non solo attraverso processi di deposizione sempre più controllabili e precisi, ma anche cercando di ampliare la scelta dei materiali che
compongono il coating multistrato.
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Un esempio tipico è il recente sviluppo nel campo dei rivestimenti anti-riflesso che è stato spinto
dall’esigenza di realizzare un trattamento su materiali organici come le lenti polimeriche e quindi flessibili, con una buona adesione e con la funzione di
antiriflesso per raggi provenienti da tante direzioni
contemporaneamente. La soluzione proposta è stata
quella di combinare il fenomeno dell’interferenza
con la morfologia dello strato polimerico. Quest’ultimo, sottoposto al trattamento etching con il plasma,
cambia e la sua superficie diventa molto rugosa con
proprietà ottiche simili alla struttura dell’occhio della
mosca come mostrato in Figura 7.
FIGURA 7 Immagini SEM di alcuni materiali polimerici trattati
con il plasma
Fonte: Ulrike Schulz, “Hybrid Organic-inorganic Coatings
for Optical Applications”, Optical Interference Coatings,
OSA Technical Digest -online- 2013
FIGURA 8 Classificazione dei materiali in base alle loro proprietà
dielettriche e magnetiche. La linea tratteggiata
corrisponde a materiali non magnetici µ=1 (S è il vettore
di Poynting)
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bi bliog raf i a
risonanza plasmonica o del campo vicino in generale,
è possibile ottenere un indice di rifrazione effettivo negativo, in natura inesistente (i cosiddetti metamateriali),
per una limitata zona dello spettro (Figura 8). Tale argomento è troppo complesso per essere trattato in questo
breve articolo, ma un’accurata bibliografia si può trovare in uno specifico capitolo del libro [3]. l
Angela Piegari, Anna Sytchkova
ENEA, Dipartimento Tecnologie Energetiche,
Laboratorio ingegneria processi e sistemi per l’energia
Thin films for the manipulation of light
The manipulation of light is typically accomplished by a series of optical surfaces on which the incident beam
is reflected, or through which the beam is transmitted.
Thin film coatings help to modify the behavior of such surfaces for obtaining the desired result: antireflection
coatings to reduce reflection losses, high-reflectance mirrors, filters to divide or combine beams of different
wavelengths, and many other types. The amount of light that is transmitted or reflected depends on the optical
parameters of the materials and on interference phenomena in thin-film structures.
Dedicated software is available to design the proper coating for each requirement. There are several applications
of optical thin films, many of them are useful in the everyday life, many others are dedicated to scientific
purposes, as will be described in this paper.
Research & development
ab st ract
L’inserimento degli strati polimerici nei coatings può
renderli più flessibili meccanicamente e quindi ridurre la possibilità di distacco del rivestimento dal
substrato. Questo è particolarmente vero per i coatings spessi, come ad esempio per le applicazioni
nell’infrarosso.
Un metodo innovativo per ottenere valori delle funzioni
ottiche inesistenti in natura è creare materiali particolari che abbiano una risposta effettiva alla luce come un
insieme di “atomi” artificiali. Sfruttando il fenomeno di
[1]J. A. Dobrowolski, (1994), Optical properties of films and filters, in M. Bass (Ed.), Handbook of Optics (2nd ed.), McGraw-Hill, New York
[2]H. A. Macleod, (2001), Thin Film Optical Filters (3rd ed.) , Institute of Physics Publishing, Bristol, Philadelphia
[3]A.Piegari, F.Flory (2013) Optical thin films and coatings, Elsevier, Cambridge
[4]H. K.Pulker, (1999), Coatings on Glass (2nd ed.), Elsevier, Amsterdam
[5]F.Flory (1995), Thin Films for Optical Systems, Marcel Dekker, New York
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